该文章还是继续接着上个章节没讲述完的激光频率微调的分析，相信通过上个章节的简单叙述，多少有些许了解，单单是一个晶片都需要那么多的步骤实行着，那么一个完整的石英晶振又的经过多少工序的千雕万凿呢？

3.2激光频率微调实验分析

  本实验釆用掺钕钇铝石榴石晶体(Nd:YAG)激光器,对两种标称频率且尚未封装的晶片进行频率微调。并通过自制采样板和网络分析仪对其进行频率检测。相比第二章所述激光频率微调系统来说,较为简单,但其目的主要在于验证激光对石英晶体振荡器进行频率微量调节的可行性,且用激光微调后的晶体可以精确达到目标频率并保持其本来良好的工作性能。

3.2.1激光器及激光微调系

  目前广泛用于激光调阻、激光频率微调系统的激光器主要是Nd:YAG声光调Q脉冲激光器29]。这种激光器性能稳定可靠,其调Q工作方式可获得高的峰值功率输出。当调阻时,在阻片材料上看起来是形成一个连续的切口,而实质上该切口是由一系列脉冲激光烧蚀的圆孔部分叠加到一起而形成的,这些圆孔叠加程度是由Q开关来控制的。

  激光脉宽直接影响到阻值的稳定性,脉宽太短,阻片材料不能被合适去除,而脉宽过长又将使热量过多地传导给阻片材料引起切口过大。因而,贴片晶振选择适合调阻激光源要注意脉宽、模式、重频,平均功率及波长几项指标的搭配。

  表3.1给出了薄膜电阻调阻的激光源参数[29]

  本课题采用华工激光厂生产的HGL-LSY50F灯泵浦固体激光器作为激光源。

HGL-LSY50F灯泵浦固体激光器技术参数如表3.2所示

  HGL-LSY50F型灯泵浦固体激光振镜打标机是由氪灯泵浦的固体YAG激光打标机,它主要由五部分组成,即:激光器系统、声光调制系统、振镜扫描系统、计算机控制系统及冷却系统。

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